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TIC

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Micro et Nano technologies

Les activités de la plateforme concernent la fabrication de composants électroniques. En particulier, elles se focalisent sur la réalisation de traitements de wafers 200 et 300 mm (dispositifs semi-conducteurs et microsystèmes), le développement des générations CMOS 45-32-22-14 (plateforme 300 mm) ou encore la validation de nouvelles architectures et développement technologique de microsystèmes et nanosystèmes (plateforme 200 mm).

Types d'activité

Prototypage/Innovation, Prestations R&D, Caractérisation

Domaines d'expertise

  • Matériaux de surface
  • Structural Health Monitoring (SHM)
  • Capteurs autonomes et réseaux de capteurs
  • Capteurs miniatures
  • Circuits pour les systèmes embarqués
  • Systèmes de télécommunications

Certifications

L’institut Carnot Leti (CEA) est certifié ISO 9001.

Moyens disponibles

La plateforme propose des moyens pour la fabrication de composants électroniques (micro- et nano-technologies) selon les technologies MOS et MEMS :

  • 500 équipements de traitement au sein d’une salle blanche de 8 000 m²
  • Ligne de prototypage de circuits sur wafer 200 et 300mm
  • Ligne de prototypage MEMS 200mm
  • Plateformes MOS et MEMS, reliées par un système innovant de salle blanche mobile pour une plus grande flexibilité et un traitement plus rapide des lots
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